金融界2025年1月30日音书,国度常识产权局信息涌现,北京朔方华创微电子装备有限公司恳求一项名为“清洁尽头的检测圭表及半导体工艺开发”的专利,公开号CN119372621A彩娱乐登陆网址入口官网,恳求日历为2023年7月。
专利摘记涌现,本恳求公开一种清洁尽头的检测圭表及半导体工艺开发,其中检测圭表包括:在工艺腔室实验原子层千里积工艺之前变成掩饰所述工艺腔室里面整个这个词名义的信号膜层;在所述工艺腔室达到清洗条款时,向所述工艺腔室通入清洁气体,以实验清洁工艺,生成清洁后的反映气体;检测所述反映气体中所述信号膜层对应的反映物变化信息,把柄所述反映物变化信息细目清洁尽头。本恳求概况实时检测清洁尽头,CYL588.VIP最大罢休地幸免过度清洁或者清洁不十足的问题。
天眼查贵府涌现,北京朔方华创微电子装备有限公司,建树于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东谈主民币,实缴成本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标形势1000次,常识产权方面有商标信息38条,专利信息5000条,此外企业还领有行政许可339个。
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