发布日期：2024-12-15 13:22 点击次数：87
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微纳器件因具有高集成度与高功能性，被凡俗用于航空航天、生物医学、新式材料等领域，极地面鼓动了当代科学时刻的发展。与微纳器件对应的微纳加工时刻，在全球缺“芯”的近况下，也曾成为备受眷注的盘问领域，干系高端装备与时刻的研发亦然面前我国发展政策的进军本体之一。
与传统投影光刻时刻、电子束直写等时刻比较，激光直写时刻是微纳加工时刻中最具有后劲责罚真三维、复杂微纳结构加工顽固的微纳加工时刻。2024年1月22日，Nature杂志发表了题为“Seven technologies to watch in 2024”的著作，3D纳米激光直写时刻即是Nature杂志2024年值得眷注的七项时刻之一。跟着纳米科技不绝发展，3D纳米激光直写时刻也得到了科研界和工业界越来越多的眷注。刘锡正在这一更正领域开展真切盘问。
结缘微纳时刻助力国度发展
刘锡，本科就读于南京理工大学，2021年6月在中国科学院光电时刻盘问所赢得博士学位，2021年7月—2023年10月在之江实验室从事博士后盘问，2023年11月入职中国科学院重庆绿色智能时刻盘问院集成光电时刻盘问中心，担任副盘问员、硕士生导师，主要从事超辩别细微加工与检测、光电集成时刻盘问。干系盘问效果以第一/共同第一作家细腻发表SCI论文4篇，EI论文1篇，其中，在期刊Nature Communications以共同第一作家发表论文1篇，刘锡建议该论文idea并进行了启动实验考据；以第一作家在光学期刊Optics Letters发表论文1篇并赢得该期刊新闻报谈（2023年仅8篇论文赢得该期刊新闻报谈，比例低于8/1500）；在期刊Laser&Photonics Reviews以共同第一作家发表论文1篇；授权国内发明专利3项；获国度奖学金1次。曾赢得中国博士后科学基金更正东谈主才扶植筹谋资助、四川省科技厅形状资助。
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本科毕业后，刘锡参加中科院光电时刻盘问所硕博连读，导师是光刻领域内行——胡松盘问员，胡松真挚在光刻装备产业化方面具有丰富劝诫，亦然在博士修业时候，刘锡与微纳加工与检测时刻结下不明之缘。在多位导师的诱骗和本人的起劲下，他赢得中国博士后科学基金更正东谈主才扶植筹谋资助，往日宇宙仅400东谈主赢得。
博士毕业后，刘锡参加之江实验室进行博士后盘问，导师是浙江大学、之江实验室双聘西宾——匡翠方西宾，匡西宾是国度隆起后生基金赢得者，同期是浙江大学极点光学时刻与仪器宇宙重心实验室副主任，在学术盘问、设立仪器化方面具有极高水平。
博士后时候，刘锡主要从事基于飞秒/结合激光的纳米激光直写时刻盘问，针对飞秒激光直写时刻精度受限的问题，建议了使用光学扼制斡旋化学扼制的圭臬来提升直写精度和辩别率，克服了光学周边效应的影响，赢得了极高的辩别率；关于结合激光直写时刻，基于“双步经受”旨趣，发展了光纤集成的高辩别率结合激光直写系统，直写特征尺寸达到亚50nm。
初到之江实验室，加入匡西宾“高通量纳米光刻与成像”团队时，为多样高峻上的科研设立、实验条款所奖饰。为了完成要紧形状各形状的，课题组诸位共事皆心合力，共同攻坚，而刘锡博士后的科研标的即是责罚形状中枢认识——亚50nm高精度激光直写。由于是光学专科出生，而激光直写时刻波及光与物资互相作用的经过，彩娱乐登陆网址除了光学，还要了解光刻胶材料的特质。为此，刘锡起始了钻研，阅读盛大化学干系文件，与共事换取，动手实验积存劝诫。
功夫不负有心东谈主，在不绝想考与践诺之后，针对STED飞秒激光直写，刘锡初度建议了使用光学扼制斡旋化学扼制的圭臬并初度进行了实验考据，该圭臬扼制了目田基的扩散，放松了光学周边效应，从而提升了直写精度和辩别率，壮健完了了激光直写亚50nm高精度认识。在此之后，与同组两位从事化学盘问的共事相助，真切考虑了该圭臬的干系机理，效果以共同第一作家身份发表于外洋顶级期刊Nature Communications，赢得了凡俗眷注。
此后，针对飞秒激光直写时刻光源体积大、老本高级问题，刘锡又盘问了基于低老本结合激光的纳米激光直写时刻，基于新式“双步经受”旨趣，使用405nm单模保偏光纤，拓荒了高度集成的结合激光直写系统，直写辩别率可比好意思飞秒激光直写时刻，有用裁减了光源老本，且该系统还兼容共聚焦显微成像，干系效果发表于外洋盛名光学期刊Optics Letters，同期赢得了该期刊新闻报谈，为纳米激光直写时刻提供了一种新的遴选。
激光直写时刻的发展离不开宽敞科研东谈主员的积极孝顺，人人在更高效、更高精度、更大面积、更低老本直写制造方面握续起劲，以此鼓动凡俗运用。
怀感德之心走发展之路
刘锡说大略取得今天的获利，最大的功劳是我方的导师和九故十亲，因为从修业起始，到当今参加使命岗亭，他碰到了多位真挚，得到了他们的用心匡助，也得到了许多作念东谈主作念事的劝诫共享。
“在此感谢中科院光电时刻盘问所的胡松真挚、赵立新真挚、唐燕真挚、杨勇真挚，感谢他们在我博士修业经过中赐与扶植和饱读吹。感谢博士后时候匡翠方西宾、刘旭西宾、徐良真挚的匡助与诱骗。匡真挚在科研大标的、科研细节方面有着丰富劝诫；刘旭真挚是浙江大学极点光学时刻与仪器宇宙重心实验室主任，在学术问题上常常是片纸只字地指出问题，令我受益良多；徐良真挚在光学系统方面颇有树立，经常为我指破迷团。感谢亲一又、师长、同学、小伙伴，望人人使命顺利，各自安好。”刘锡的感德之心让他的科研之路越走越宽，越走越远。
谈及畴昔，刘锡但愿赓续从事干系盘问，以严谨科学的气派，不务空名，拓荒新的纳米激光直写圭臬和时刻，裁减系统老本，提升遵循，赢得自主常识产权，同期反馈国度命令，争取将时刻进行扩充，工作于科学盘问和买卖制造，为早日完了“更正强国梦”孝顺我方的一份力量。
著作摘选自《中国高新科技》杂志2024年第16期彩娱乐，总第172期。
